2002

• 2002.03
  上海微電子裝備有限公司在張江高科技園區正式成立。
• 2006.04
  光刻機產品注冊商標獲得國家工商局批準。
• 2008.11
  十五光刻機重大科技專項通過了國家科技部組織的驗收。
• 2008.12
  公司被評為“上海市高新技術企業”。
• 2009.12
  首臺先進封裝光刻機產品SSB500/10A交付用戶。
• 2010.08
  我司被評為“上海市創新型企業”。
• 2011.10
  SSB500系列先進封裝光刻機產品被國家科技部批準為“2011年度國家級重點新產品計劃項目”。

2012

• 2012.05
  我司產品SSB500系列先進封裝光刻機首次實現海外銷售。
• 2012.06
  SSB500系列先進封裝光刻機產品榮獲“上海市專利新產品”。
• 2012.11
  SSB500系列先進封裝光刻機榮獲第14屆中國國際工業博覽會金獎。
• 2012.12
  研究課題《納米精度多自由運動系統關鍵技術及其應用》榮獲“國家技術發明二等獎”。
• 2013.08
  國產首臺用于2.5代AM-OLED TFT電路制造的SSB225/10成功交付用戶。該產品被國家科技部評為“2014年度國家重點新產品”。
• 2013.11
  我司被評為第一批國家級知識產權示范企業。
• 2014.03
  我司先進封裝光刻機創新團隊入選科技部創新人才推進計劃重點領域創新團隊。
• 2014.10
  我司創新研發團隊榮獲由中組部、中宣部、人社部、科技部獲批并頒發的“全國專業技術人才先進集體”獎。
• 2016.01
  我司技術中心被認定為“國家企業技術中心”。
• 2016.06
  我司首臺暨國內首臺前道掃描光刻機交付用戶。
• 2016.11
  我司應用于平板顯示的SSB245高分辨率投影曝光機榮獲第18屆中國國際工業博覽會金獎。
• 2017.01
  公司完成股改，正式更名為上海微電子裝備（集團）股份有限公司。
• 2017.03
  由我司承擔的“平板顯示高精細度圖案化工藝和裝備關鍵技術開發及應用”任務被上海市人民政府授予上海市科學技術進步獎一等獎。
• 2017.04
  公司承擔的國家02重大科技專項任務“浸沒光刻機關鍵技術預研項目”通過了國家正式驗收。
• 2017.10
  公司承擔的02重大科技專項“90nm光刻機樣機研制”任務通過了02專項實施管理辦公室組織的專家組現場測試。
• 2017.11
  我司SPA200系列光配向設備喜獲第十九屆中國國際工業博覽會銀獎。
• 2017.12
  中國首臺新型顯示用6代高分辨率TFT曝光機發運。
• 2018.03
  90nm光刻機項目通過正式驗收。
• 2018.06
  我司獲得由上海市人民政府、上海市質量監督局、上海品牌國際認證聯盟授予的“上海品牌”認證榮譽稱號，成為首批獲得該認證的企業。
• 2018.09
  我司600系列IC前道投影光刻機榮獲第20屆中國國際工業博覽會銀獎。
• 2019.12
  我司獲批國家海關總署AEO高級認證。我司SSB300系列光刻機入選制造業單項冠軍產品。
• 2020.01
  我司榮獲“第三屆浦東新區區長質量獎”。

至今