光配向設備 —— LCD Cell段高端屏制造
 SPA255/20 |
 SPA245/10 |
SPA200系列光配向設備主要應用于IPS TFT-LCD高端顯示屏的配向工藝，可替代傳統的摩擦配向設備。該系列設備能滿足4.5代、5代、6代或更高世代產線光配向制程需求。
產品特征
● 優異的光學均勻性
● 精確的偏光角控制
● 良好的熱控制
● 優異的載臺性能
主要技術參數
| 型號 | SPA245 | SPA255 |
| 波長 | 254nm/ 313nm/ 365nm | 254nm/ 313nm/ 365nm |
| 偏光角精度 | ±0.08° | ±0.08° |
| 照度均勻性 | < 5% | < 5% |
| 基板尺寸 | 730mm×920mm | 1100mm×1300mm |
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