長短寸測量設備 —— 長寸測量兼容短寸和光刻膠膜厚測量
 SOM245/10 |
 SOM255/10 |
SOM200系列測量設備主要應用于TFT Array、Color Filter和FOPLP等制程工藝。其中，SOM200/10系列為長寸測量設備，又稱為長短寸測量設備或基板變形檢測設備或精密測長機，主要應用于長寸測量，兼容短寸測量，可選配光刻膠膜厚測量；SOM200/10A系列為關鍵尺寸測量設備，主要應用于短寸測量。該系列設備沿用高分辨率曝光機相關技術，可用于4.5代、5代、5.5代或6代等各種基板的測量。
產品特征
● 多功能測量
● 高測量精度
● 高測量效率
● 高效的溫度控制和高效潔凈系統
主要技術參數
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型號 |
SOM245 |
SOM255 |
SOM260 |
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基板尺寸 |
730mm×920mm |
1100mm×1300mm |
1500mm×1850mm 1300mm×1500mm |
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TP測量重復性 |
300nm |
300nm |
300nm |
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TP測量復現性 |
400nm | 500nm |
500nm |
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CD/OL測量重復性 |
30nm |
30nm |
30nm |
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CD/OL測量復現性 |
40nm |
40nm |
40nm |
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Tact Time |
5 min |
6 min |
7 min |
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