上海微電子裝備(集團)股份有限公司

半導體產線搬運機器人 —— 智能片盒運輸/搬運

ATR500

APR500

APR500片盒搬運機器人，可自動搬運兩個12寸FOUP（兼容8寸片盒），實現端到端全自動搬運。ATR500物料運輸機器人，可兼容多種半導體工廠物料，在工廠不同區域進行運輸。機器人配置了多重安全保障功能，尤其適用于人機協作環境；多項創新技術有效提升機器人使用效率；可根據客制化需求，為用戶提供工廠搬運整體解決方案。

產品特征

● 安全智能

● 適用于多種工況

● 兼容性好

● 友好的人機交互界面

● 整體解決方案

主要技術參數

型號	ATR500	APR500
功能	物料運輸	物料搬運
導航方式	智能激光導航	智能激光導航
移動速度	最高1.3 m/s（可配置）	最高1.3 m/s（可配置）
充電方式	自動充電	自動充電