上海微電子裝備（集團）股份有限公司（簡稱SMEE）成立于 2002 年 3 月，定位“賦有國家使命的市場化公司”。SMEE 自“十五”起至今先后承擔了多個國家 IC 前道光刻機研制專項任務。在專項技術的輻射下，SMEE 根據半導體產業、泛半導體產業和信息技術發展趨勢與市場需求全面布局，開發了一系列高端裝備，是國內唯一具備制造多領域、多品種產線應用的高端光刻機供應商。